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제목 [기본] FPD/CVD/Susceptor/Diffusor 제조 공정 용어 날짜 2014.06.27 13:05
글쓴이 엘케이 조회 4046

FPD/CVD/Susceptor/Diffusor 제조 공정 용어

FPD(Flat Panal Display) TV나 컴퓨터 모니터(브라운관(CRT)를 포함)보다 두께가 얇고 가벼운

영상표시장치를 뜻합니다.

여기서 CRT란 예전 TV처럼 화면 뒤로 볼록하게 튀어나와 있는 것을 뜻합니다.

그 안에는 전자총이라는 장치가 브라운관(화면)에 전자빔을 쏴서 영상을 표시하는

장치를 뜻합니다. FPD는 요즘 나오고 있는 LCD, LED, PDP, OLED처럼 얇고 가벼운 디스플레이를

총칭하는 단어입니다.

 

CVD는 , 전기, 빛등의 외부 에너지를 사용하여 원료가스를 분해시켜 화학적 반응을 통해

기판상에 박막을 형성시키는 CVD 장비에서 핵심이 되는 Susceptor Diffuser의 당사 제품은

고온에서 장시간 사용함에도 더 오랜 수명을 유지할 수 있도록하는 당사만의 고유 열처리 기술과

컴퓨터 시뮬레이션 적용을 통한 Sheath Heater 설계기술, Chamber내 오염방지를

위한 양극산화 표면처리 기술을 제품에 적용함으로써, 타사 대비 우수한 내열성과 내식성을 확보하여

고객의 요구를 만족시키고 있습니다.

 

Susceptor LCD 제조 공정중 성막 공정인 CVD(Chemical Vapor Deposition, 박막 증착 기술 중

하나로 화학적 반응을 통하여 기판에 박막을 증착하는 기술)공정에서 Glass 지지와 Heating역할을

하는 제품이며, Glass에 최적의 온도를 제어 해줌으로서 실제 사용조건에서 뒤틀림이 없도록

평탄도를 유지시켜주는 기술이 적용되었다.

 

Diffusor Susceptor와 함께 CVD공정 Chamber의 핵심부품으로서 CVD 공정상에서 GAS

Glass위로 균일하게 확산시키는 역할을 한다. 당사의 제품은 높은 공정 온도(350~400℃)

내에서도 견딜 수 있는 Anodizing 기술 및 Dome형성을 위한 열처리 기술과 미세 가공 기술이

적용되었다

 

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