LK Co., Ltd

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KALREZ O-RING

KALREZ(칼레즈 또는 칼레츠)오링은 듀폰사에서 제작한 과불소(재질기호 FFKM)오링의 브랜드이며, 열적-화학적 저항성이
우수한 재질입니다. 특히 내약품성이나 내플라즈마적 성질을 모두 가지고 있어 반도체 세정공정, 플라즈마에칭 공정,
반도체 그라스 운송용 등에 사용되며 내열용, 내스팀용, 내약품용으로 일반산업 분야에도 폭넓게 사용되고 있습니다.

특징
1. Seal수명 연장 & Particle 억제 우수

2. 고온 안정성 확보 Particle 억제 및 수명 연장

3. 강력한 화학적 안정적 확보

4. 반도체 및 디스플레이의 CVD, Dry-Etching, PVD 등 널리사용

5. 습식 및 화학반응 환경 안정성

제품별 특징

Process		Seal 온도 공정	공정 환경	추천 재질	특징	적용 부위
Plasma Process	HDP-CVD PECVD	25 - 200 ℃	TMS, TEOS, SiH4 NH3, SiF4, O2, C2F6 N2O, NF3, CF4	9100 8002 8085	* 9100 고온, Plasma 및 Gas 증착 공정 등에 사용 * 8002 산소계 불소계 Plasma 공정 등에서 낮은 Particle 생성 * 8085 강한 Plasma 내성 및 Dynamic Seal 수명 향상	구동부 : * Door seals * Gate valves * Pendulum valves 고정부 : * Chamber lid seals * Exhaust valves * Gas inlets/outlets * Window seals * Center rings 운반부 : * End effecter pad * Transport roller
	Etching	25 - 200 ℃	CF4, C3F8, CHF3, SF6, O2, H2, HBr, BCl3, CCl4, Cl2	9100 8002 8085
	Ashing Stripping	25 - 250 ℃	O2, CF4, CHF3, NH3, H2O Vapor Forming Gas	8002 9100 8085
Thermal Process	SA-CVD	25 - 250 ℃	TEP, TEBO, TEOS, O3, NF3	8085 8002
	Metal-CVD ALD LP-CVD	25 - 300 ℃	Organic Precursors, WF6, TiCl4, SiH4, HF, F2, Cl2, ClF3, NF3, H2O Vapor, O2, O3	8900 9100	* 8900 높은 내열온도, Sticking, Out-gas부분 개선 제품 * 8475 흰색의 재질로 복사 열에 유리하며, Lamp annealing, RTP 등에 사용	* Quartz chamber seal * Fittings * Center ring * Plenum seals
	Oxidation Diffusion	150 - 300 ℃	N2, O2 H2O, HCl, Cl2	8900 8475
	Lamp Anneal RTP	150 - 300 ℃	Resistance to IR absorption	8475
Wet Process	Wafer Prep	25 - 125 ℃	UP DI, Piranha SC-1, SC-2, O3 HF(49%)	6375 4079	* 6375 모든 습식 화학 공정에 사용 * 4079 우수한 화학적 저항성 보유 * 1050LF 아민계 화합물에 대한 우수한 저항성 보유	* Door / Lid seals * Drain seals * Seals for chemical containers * Fittings * Seals for filters/connectors * Flow meters
	Etching	25 - 180 ℃	HNO3, HF, H2O H3PO4, HNO3
	Photolithography	25 - 125 ℃	H2SO4 + Oxidant Organic Acids nMP
	Stripping	25 - 125 ℃	nMP Alkanolamine Hydroxlamine	6375 1050LF
	Copper Plating	25 - 100 ℃	CuSO4, Solution H2SO4, H2O2	6375

제품별 COMPOUND 재질특성

Product	색상	경도 Shore A [Pellet]	경도 Shore M [O-ring]	지속사용 가능온도 [℃]	Compression Set @ 70hr204℃% ,	100% ModulusMPa	Elongation at BreakM (%)
6005	반투명흰색	(65)	73	275	15	2.4	225
8900	검정	73	80	325	8	10.73	125
9100	반투명갈색	68	74	300	17	4.27	220
9300	갈색	74	79	300	28	4.65	208
9500	황갈색	75	80	310	22	5.67	176
7075	검정	75	(83)	327	15	7.53	160
8002	투명	69	76	275	15	2.88	246
8085	베이지	80	86	240	42	7.50	159
8475	흰색	60	71	300	23	2.20	225
8575	흰색	62	72	300	29	2.47	230
1050LF	검정	82	(90)	288	35	12.40	125
4079	검정	75	(83)	316	25	7.23	150
6190	검정	73	(81)	300	29	6.20	195
6375	검정	75	83	275	25	7.23	160